发明名称 |
丙烯酸酯聚氨酯化学机械抛光层 |
摘要 |
本发明涉及丙烯酸酯聚氨酯化学机械抛光层,具体包括一种化学机械抛光垫,其包括丙烯酸酯-聚氨酯抛光层,其中所述抛光层的拉伸模量为65-500MPa;断裂伸长率为50-250%;储能模量G'为25-200MPa;肖氏D硬度为25-75;湿切割速率为1-10微米/分钟。 |
申请公布号 |
CN103072099B |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
申请号 |
CN201210370017.7 |
申请日期 |
2012.09.27 |
申请人 |
罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;陶氏环球技术有限公司 |
发明人 |
J·谢;D·B·詹姆斯;C·H·董 |
分类号 |
B24D13/14(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I |
主分类号 |
B24D13/14(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
朱黎明 |
主权项 |
一种化学机械抛光垫,用于对选自磁性基片、光学基片和半导体基片中的至少一种的基片进行抛光,所述抛光垫包括抛光层,所述抛光层包括下列原料成分的反应产物:(a)由(i)多官能异氰酸酯与(ii)预聚物多元醇反应制备的异氰酸酯封端的聚氨酯预聚物,其中所述异氰酸酯封端的聚氨酯预聚物含有4‑12重量%的未反应的NCO基团;(b)多胺增链剂,(c)选自(烷基)丙烯酸羟烷基酯和(甲基)丙烯酸‑2‑氨基乙基酯的丙烯酸酯;和(d)自由基引发剂,其中,所述抛光层的拉伸模量为65‑500MPa;断裂伸长率为50‑250%;储能模量G'为25‑200MPa;肖氏D硬度为25‑75;湿切割速率为1‑10微米/分钟。 |
地址 |
美国特拉华州 |