一种真空镀膜生产线用运输系统

摘要

本发明公开了一种真空镀膜生产线用运输系统，包括一传送装置和一安装在传送装置上的装片装置，传送装置包括轨道和至少一个传送车，轨道带电，传送车包括至少两个电极引入件，电极引入件与轨道电连接驱动传送车在轨道上运行。与现有技术相比，采用传送装置和装片装置配合来传送基片，基片安全稳固安装，通过传送车高效快速传送，传送车从轨道上引电来驱动在轨道上稳定移动，装片装置结构简单，通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装，这样整个运输系统适用于多种镀膜生产线，节约资源，因此其应用前景十分广阔。

主权项

一种真空镀膜生产线用运输系统，其特征在于，包括：一传送装置，所述传送装置包括轨道和至少一个传送车，所述轨道带电，所述传送车包括至少两个电极引入件，所述电极引入件与所述轨道电连接驱动所述传送车在所述轨道上运行；和一装片装置，所述装片装置安装在所述传送装置上。