发明名称 |
一种3.46微米窄带滤光片及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种3.46微米窄带滤光片及其制备方法,以JGS3为基板,以SiO2和Si为镀膜材料,采用电子束蒸发真空镀方式,在真空度<10-3pa、温度<250℃的条件下,加以离子辅助沉积,采用反射光的间接式控制,监控沉积速率以保持其稳定的沉积速率,沉积速率少于8<img file="DSA0000115576730000011.GIF" wi="31" he="52" />/S,在基板两侧表面形成的正面膜系与反面膜系均为交替的SiO2层与Si层。该发明的制备方法可大大提高产品特性,特别适用于大批量生产;制备的3.46微米窄带滤光片,其透过率T>90%,截止区域的截止深度小于0.1%,获得优异的信噪比,物理特性也满足实际使用要求。 |
申请公布号 |
CN104714265A |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
申请号 |
CN201510170051.3 |
申请日期 |
2015.04.10 |
申请人 |
苏州奥科辉光电科技有限公司 |
发明人 |
王明利 |
分类号 |
G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I |
主分类号 |
G02B5/20(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种3.46微米窄带滤光片,包括基板,位于所述基板两侧表面的正面膜系与反面膜系,其特征在于:所述基板的材质为JGS3型号的光学石英玻璃,其表面质量大于60/40;所述正面膜系与反面膜系均由镀膜材料SiO2和Si交替沉积而成并分别形成交替的SiO2层与Si层;所述正面膜系由内而外依次由Si层与SiO2层交替沉积共17层,其中包括9层Si层与8层SiO2层,即最内层及最外层均为Si层,最内层的Si层直接沉积在所述基板的正表面;所述反面膜系由内而外依次由Si层与SiO2层交替沉积共23层,其中包括12层Si层与11层SiO2层,即最内层及最外层均为Si层,最内层的Si层直接沉积在所述基板的反表面。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市工业园区华云路1号东坊产业园3幢1楼苏州奥科辉光电科技有限公司 |