直立式沉积炉管

摘要

一种直立式沉积炉管，包括气体反应腔、气体输入管、尾气排出管以及基座，所述基座上固定有支撑架，所述支撑架具有与用于承载晶圆的晶舟上的凹槽相配合的结构，所述支撑架包括内轴和套管，所述内轴固定在基座上，所述套管套接在内轴外侧，套管适于在外力作用下绕内轴旋转。在晶舟上凹槽的摩擦力作用下，套管会绕内轴旋转，凹槽与支撑架之间的摩擦力是滚动摩擦力，滚动摩擦力远小于静摩擦力，从而减小支撑架的磨损，避免产生碎屑散落到气体反应腔，提高产品的良率。

主权项

一种直立式沉积炉管，包括气体反应腔、气体输入管、尾气排出管以及基座，所述基座上固定有支撑架，所述支撑架具有与用于承载晶圆的晶舟上的凹槽相配合的结构，其特征在于，所述支撑架包括内轴和套管，所述内轴固定在基座上，所述套管套接在内轴外侧，套管适于在外力作用下绕内轴旋转，且所述套管和内轴之间有空隙。