表面分析器

摘要

本发明涉及一种表面分析器，提供了用于允许用户针对除标高以外的特定物理量(例如，相位)高效地指定试样上的关注区域(ROI)的技术。将示出试样上的可观察范围的范围指示图像34显示在试样观察显示画面30中的导航窗口33上。将用于指定放大观察范围的ROI指示框35叠加在范围指示图像34上。将以前拍摄的针对同一试样的放大图像的缩略图的列表显示在图像历史显示窗口32上。当观察者从该列表中选择任意图像时，将所选择的图像的缩略图映射到范围指示图像34上。参考该图像，观察者可以通过鼠标操作来改变ROI指示框35的位置、大小和/或角度。响应于该操作，获取在新的ROI内的试样的放大图像。

主权项

一种表面分析器，其能够针对试样上的任意区域获得不同种类的物理量的二维分布信息，所述表面分析器包括：第一显示处理器，用于显示二维的范围指示图像，其中所述范围指示图像用于指示试样上的整个可观测范围；第二显示处理器，用于基于针对位于试样上的可观测范围内的任意位置处的具有任意大小的范围所获得的特定物理量的二维分布信息来创建分布图像，并且将所述分布图像叠加在所述第一显示处理器所显示的范围指示图像上的相应位置处；列表显示处理器，用于创建包括多个分布图像的图像列表，并且将所述图像列表显示在显示有所述范围指示图像的同一显示画面上与所述范围指示图像的显示区域不同的显示区域上，其中，所述多个分布图像是基于针对位于试样上的可观测范围内的任意位置处的具有任意大小的范围所获得的特定物理量的二维分布信息而创建的；以及图像选择器，用于允许用户选择所述列表显示处理器所显示的图像列表中所包括的任意一个或多个分布图像，其中，所述第二显示处理器将通过所述图像选择器所选择出的各分布图像叠加在所述范围指示图像上的相应位置处。