激光自混合光栅干涉仪及其测量方法

摘要

本发明公开了一种激光自混合光栅干涉仪及其测量方法。该干涉仪包括激光器、衍射光栅、平面反射镜、光电探测器、电信号处理系统和数据采集分析系统；衍射光栅置于激光器的输出光路上，其位移方向垂直于激光器的输出光路；激光器发出的激光垂直入射至衍射光栅，在入射光路两侧形成对称分布的各级次衍射光，平面反射镜设置在某m级次衍射光的光路上，使第m(m≠0)级衍射光垂直入射至平面反射镜并沿原光路返回，并再次入射至衍射光栅发生二次衍射，二次衍射光携带光栅位移信息沿激光器出射光的相反方向返回到激光器腔内与腔内光发生自混合干涉。本发明具有结构简单紧凑，成本低、抗干扰能力强、无需控制光反馈水平、自动识别位移方向等优点。

主权项

激光自混合光栅干涉仪，其特征在于，包括激光器、衍射光栅、平面反射镜、光电探测器、电信号处理系统和数据采集分析系统；所述衍射光栅置于激光器的输出光路上，所述衍射光栅位移方向垂直于激光器的输出光路；所述激光器发出的激光垂直入射至衍射光栅，在入射光路两侧形成对称分布的各级次衍射光，所述平面反射镜设置在某m级次衍射光的光路上，使第m级衍射光垂直入射至平面反射镜并沿原光路返回，并再次入射至衍射光栅发生二次衍射,其中m≠0，第m级二次衍射光携带光栅位移信息沿激光器出射光的相反方向返回到激光器腔内与腔内光发生自混合干涉，所述光电探测器放置在激光器后向输出光路上，光电探测器的输出接所述电信号处理系统，电信号处理系统输出接所述数据采集分析系统。