磷砷锑共掺杂的N型重掺直拉硅单晶及其硅外延片

摘要

本发明公开了磷砷锑共掺杂的N型重掺直拉硅单晶及其硅外延片。磷砷锑共掺杂的N型重掺直拉硅单晶，磷作为主要掺杂元素，砷、锑中的一种或二种作为辅助掺杂元素，所述的磷的浓度大于等于4.6×10¹⁹/cm³,在掺杂元素中占比大等于60%，辅助掺杂元素在掺杂元素中的占比为0.1%-40%。本发明能消除或显著减少硅外延片中因晶格失配引起的滑移线的N型重掺直拉硅单晶，可以有效减少或消除在由高掺杂浓度的N型重掺直拉硅单晶加工的抛光片上生长外延层时产生的失配位错线缺陷；且在解决该问题的同时不会产生在高温过程后半导体器件过渡区变宽的问题；改变了业界惯例即在硅单晶中磷砷锑中的多种不能同时作为掺杂剂。

主权项

一种磷砷锑共掺杂的N型重掺直拉硅单晶，其特征在于：磷作为主要掺杂元素，砷、锑中的一种或二种作为辅助掺杂元素，所述的磷的浓度大于等于4.6×10¹⁹/cm³,在掺杂元素中占比大等于60%，辅助掺杂元素在掺杂元素中的占比为0.1%‑40%。