探针高度调整方法与探针位置监测方法

摘要

本发明公开了一种探针高度调整方法，其包含下列步骤：上升升降载台至点测位置，升降载台上用以承载待测物。调整两个探针装置的两个探针，使两个探针接触待测物，并利用两个形变感应回路使两个探针装置的两个力臂上的两个感应元件根据两个力臂的变形量分别产生第一观测值变化与第二观测值变化，以分别提供两个探针目标值。使两个探针接触待测物时具有近似的目标值。因此利用本发明的探针高度调整方法可根据力臂的变形量提供探针目标值(针压克重)，作为调整探针高度的依据。因此探针高度调整方法能提升测量针压的准确度，且灵敏度高，可避免探针装置上的探针损坏待测物，减少探针磨耗。本发明还公开了一种探针位置监测方法。

主权项

一种探针高度调整方法，其特征在于，包含下列步骤：(a)上升一升降载台至一点测位置，所述升降载台上承载一待测物；(b)调整两个探针装置的两个探针，使所述两个探针接触所述待测物，并利用两个形变感应回路使所述两个探针装置的两个力臂上的两个感应元件根据所述两个力臂的变形量分别产生一第一观测值变化与一第二观测值变化，以分别提供所述两个探针一目标值；以及(c)使所述两个探针接触所述待测物时具有近似的所述目标值。