| 发明名称 | 晶圆存储盒开盖装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，包括：支撑台；所述支撑台用于支撑晶圆存储盒；盒盖抓取装置；所述盒盖抓取装置设置在所述支撑台的一侧，用于抓取盒盖；所述盒盖抓取装置可相对所述支撑台移动。本实用新型提供的晶圆存储盒开盖装置，提供支撑台支撑晶圆存储盒，通过驱动装置驱动盒盖抓取装置吸附盒盖并带动盒盖移动，从而打开或盖住容腔，速度快，尽可能地缩短了处理好的晶圆暴露在空气中的时间，避免晶圆受到二次污染，提高晶圆的品质。 | ||
| 申请公布号 | CN204407299U | 申请公布日期 | 2015.06.17 |
| 申请号 | CN201420870484.0 | 申请日期 | 2014.12.31 |
| 申请人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 王振荣;刘红兵 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，包括：支撑台；所述支撑台用于支撑晶圆存储盒；盒盖抓取装置；所述盒盖抓取装置设置在所述支撑台的一侧，用于抓取晶圆存储盒的盒盖；所述盒盖抓取装置可相对所述支撑台移动。 | ||
| 地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号 | ||