固体摄像装置

摘要

本发明公开了从背侧接收入射光的固体摄像装置。所述固体摄像装置包括：半导体层，在所述半导体层上形成有包括光电转换器和像素晶体管的多个像素；形成于所述半导体层的第一表面上的布线层；形成于所述半导体层的第二表面上的焊盘部；被形成为到达所述布线层中的导电层的开口；以及被形成为在所述半导体层的第二表面上延伸并覆盖所述第二表面的绝缘膜。由于绝缘膜被形成为在半导体层的表面上延伸并覆盖所述表面从而将半导体层绝缘，因此可防止对半导体层和布线层的不利影响，并可提高固体摄像装置的产品可靠性。

主权项

一种从背侧接收入射光的固体摄像装置，所述固体摄像装置包括：半导体层，在所述半导体层上形成有包括光电转换器和像素晶体管的多个像素；形成于所述半导体层的第一表面上的布线层；形成于所述半导体层的第二表面上的焊盘部；被形成为到达所述布线层中的导电层的开口；被形成为在所述半导体层的第二表面上延伸并覆盖所述第二表面和所述开口的侧壁的绝缘膜；钝化膜，其覆盖所述开口在所述绝缘膜上的所述侧壁；以及片上微透镜膜，其覆盖所述开口在所述钝化膜上的所述侧壁。