主权项 |
一种构造为向液体供给对象供给液体的液体供给装置,所述液体供给装置包括:供给流道,其与所述液体供给对象连接;第一压力施加装置,其向所述供给流道内部的液体施加压力;第一压力缓冲单元,其包括与所述供给流道连接的第一液体室、存储气体的第一气体室、以及将所述第一液体室和所述第一气体室彼此分隔开的第一分隔件,所述第一分隔件能变形或移动以改变所述第一液体室的容积;第一气体流道,其一端与所述第一气体室连接;第一气体存储单元,其与所述第一气体流道的另一端连接;以及第一气体流道切换装置,其打开和闭合以将所述第一气体室和所述第一气体存储单元彼此连接和断开,其特征在于,所述液体供给装置还包括:第一大气连通通道,其一端与所述第一气体存储单元连接,而另一端与大气连通;第一大气连通通道切换装置,其打开和闭合以将所述第一气体存储单元与大气连通和断开;第一切换控制装置,其在所述第一分隔件的初始位置调整期间以及在所述液体供给对象的加压期间控制所述第一气体流道切换装置和所述第一大气连通通道切换装置的操作;以及第一压力控制装置,其响应于由所述第一切换控制装置控制的所述第一气体流道切换装置和所述第一大气连通通道切换装置的操作而控制所述第一压力施加装置的操作。 |