| 摘要 |
<p>적층해야 할 기판을 보유지지하여 위치맞춤부에서 위치맞춤시켜 겹쳐진 한 쌍의 기판홀더를 위치맞춤부로부터 가압·가열부로 반송하는 동안에, 기판 사이에 문턱값 이상의 위치편차가 생길 가능성의 유무를 판단하여, 가능성이 있다고 판단한 경우에 한 쌍의 기판홀더를 가압·가열부와는 다른 영역으로 반송한다. 가능성은 기판홀더의 가속도에 의해 판단되어도 된다. 또, 가능성은 기판홀더를 반송하는 반송부의 가속도에 의해 판단되어도 된다. 또한, 가능성은 한 쌍의 기판홀더의 상대위치에 의해 판단되어도 된다. 더욱이 또한, 가능성은 한 쌍의 기판홀더를 반송하는 반송부와 한 쌍의 기판홀더의 한쪽과의 상대위치에 의해 판단되어도 된다.</p> |
