溅镀装置及溅镀装置之维护方法

摘要

本发明于溅镀装置之靶材更换、阴极清理时，可由两人以上同时作业，避免高处作业，并将靶材以朝上之状态进行更换。;移动阴极台车19而将靶材17及阴极18取出至真空槽11外。使阴极旋转机构24运转，以靶材17朝上之方式使靶材17及阴极18旋转。使阴极滑动机构25运转，使高处之靶材17及阴极18移动至低处。自阴极18取下旧靶材17，并将新靶材17安装于阴极18。使靶材17及阴极18返回至原来之高度。使靶材17及阴极18返回至原来之方向。使靶材17及阴极18返回至真空槽11内。