化学机械硏磨垫及其制作方法

摘要

本发明揭露一种化学机械研磨垫及其制作方法，乃是将透明检视窗放置于研磨垫模具内，透明检视窗为聚氯乙烯所构成者，再于研磨垫模具中填入由异氰酸酯和多元醇所调配而成的基底层原料，使基底层原料经70~200巴的压力循环下混合，并于40~120℃的温度下产生聚合反应，且达到聚氯乙烯的软化点，等待固化后，即形成聚胺酯的基底层，且透明检视窗系与基底层一体成型为化学机械研磨垫。由于透明检视窗链结性佳，与基底层产生链结后一体成型，在研磨制程中不易产生剥离，稳定性佳。