发明名称 两面附有隔离膜之密封用薄片、及半导体装置之制造方法
摘要 本发明系一种两面附有隔离膜之密封用薄片,其具备密封用薄片、积层于密封用薄片之一面之厚度50μm以上之隔离膜A、及积层于密封用薄片之另一面之隔离膜B。
申请公布号 TW201523811 申请公布日期 2015.06.16
申请号 TW103139671 申请日期 2014.11.14
申请人 日东电工股份有限公司 NITTO DENKO CORPORATION 发明人 志贺豪士 SHIGA, GOJI;石坂刚 ISHIZAKA, TSUYOSHI;盛田浩介 MORITA, KOSUKE;饭野智绘 IINO, CHIE
分类号 H01L23/28(2006.01);H01L23/31(2006.01);H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L23/28(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本 JP
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