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发明名称
基板搬送方法
摘要
提供一种可使得基板处理之产量提升的基板搬送方法。;在具备有可互相自由移动之下方搬送臂及上方搬送臂,而下方搬送臂及上方搬送臂会沿一个轴重叠配置,且可以一个轴为中心来转动之搬送机构中,系使得未搬送晶圆时之下方搬送臂或上方搬送臂的移动速度会较搬送晶圆时之下方搬送臂或上方搬送臂的移动速度要快。
申请公布号
TW201523777
申请公布日期
2015.06.16
申请号
TW103134496
申请日期
2014.10.03
申请人
东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
若林真士 WAKABAYASHI, SHINJI
分类号
H01L21/677(2006.01)
主分类号
H01L21/677(2006.01)
代理机构
代理人
林秋琴陈彦希
主权项
地址
日本 JP
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