气泡去除方法、气泡去除装置、脱气装置、及电脑可读取记录媒体;BUBBLE REMOVING METHOD, BUBBLE REMOVING APPARATUS, DEGASSING APPARATUS, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM

摘要

本发明旨在提供一种气泡去除方法，可藉由自过滤器去除微小气泡，改善过滤器之性能。 其中，气泡去除方法，包含下列步骤：使来自供给源之处理液脱气，制作高脱气液（制作高脱气液）；以第1处理液流量自泵装置P1对过滤装置F1供给经制作之高脱气液（假通液）；以大于第1处理液流量之第2处理液流量自泵装置P1对过滤装置F1供给高脱气液（初始通液）；及使高脱气液自泵装置P1朝过滤装置F1维持流动既定时间（通液）。