透过流体喷雾以扫描物体之设备及方法;APPARATUS AND METHOD FOR SCANNING AN OBJECT THROUGH A FLUID SPRAY

摘要

本发明描述用以经由以至少一流体撞击表面而处理微电子工件之表面的设备及用以操作该设备的方法。具体而言，设备包含定义内部空间以在处理腔室内以至少一流体处理微电子工件的该处理腔室、及在该处理腔室内支撑该工件的可动夹头。设备更包含用以使可动夹头在工件装载位置及在该处使用连接至至少一流体供应部的至少一喷嘴而以至少一流体处理工件的至少一处理位置之间移动的工件移动驱动系统；及用以使微电子工件转动的工件转动驱动系统。