微影投影曝光设备的照明系统;ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS

摘要

本发明揭示一种微影投影曝光设备(10)的照明系统，包含：一光瞳形成单元(36)，其引导一空间光调变器(52)上的光线，其中该调变器以一空间解决方式传输或反射入射光，一物镜(58)，其将该空间光调变器(52)的一光离开表面(57)成像于一光学整合器(60)的光进入切面(75)上，如此该光离开表面(57)上一物体区域(110)的一影像(110')与该等光进入切面之一者完全重合，该光瞳形成单元(36)以及该空间光调变器(52)受到控制，如此该物体区域(110)由该光瞳形成单元(36)完全照明，并且关联于该物体区域(110)内一点的投影光以至少部分与可变方式避免入射该等光进入切面(75)之一者。