使用矽碳化物晶种来生产大块矽碳化物的方法和器具;METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING BULK SILICON CARBIDE USING A SILICON CARBIDE SEED

摘要

本文公开一种生产矽碳化物的方法。本方法包括以下步骤：提供昇华炉，其包括炉壳、至少一个位于炉壳外侧的加热元件、和位于炉壳内且由绝热体包围的热区。该热区包括具有位于下区域之矽碳化物晶种前驱物、和位于上区域之矽碳化物晶种。该热区系加热以昇华该矽碳化物前驱物而形成矽碳化物于该矽碳化物晶种之底面上。此外，也公开用以生产该矽碳化物之该昇华炉以及产生之矽碳化物材料。