金属制硏磨垫及其制造方法、以及触媒支援型之化学加工方法

摘要

本发明之课题在于提供一种可增大被加工面之与触媒接触或极接近之区域的金属制研磨垫。;本发明之金属制研磨垫2以由过渡金属触媒构成之金属纤维的压缩成型体所构成，该金属制研磨垫2系用以对被加工物6之被加工面6a以触媒支援型之化学加工方法进行平滑化加工。该压缩成型体由金属纤维构成，并具有空隙，故而存在于研磨垫表面2a之金属纤维可弹性变形。因此，若研磨垫表面2a与被加工物6之被加工面6a彼此挤压，会对应存在于被加工面6a之微细凹凸，金属纤维会变形，藉此可使研磨垫表面2a与被加工面6a之间产生的间隙减小。藉此，可增大被加工面6a之与触媒接触或者极接近的区域。