| 摘要 |
本发明提供一种下电极装置以及电浆加工装置。该下电极装置包括用于承载被加工工件的承载件，承载件采用导电材料制作，并且在承载件的上表面形成有电场强度调节部，电场强度调节部的位置与承载件的上表面的电场强度的补偿区域相对应，电场强度调节部的表现形式与电场强度的补偿方向相对应。本发明提供的下电极装置及电浆加工装置，通过使承载件上表面的不同区域之间存在高度差，即，使承载件上表面的不同位置与地之间的距离不同，以调节承载件上表面各个区域的电场强度，补偿在各个区域之间存在的电场强度的差异，从而使电浆相对于承载件上表面所承载的被加工工件的各个区域的分布趋于均匀，进而提高制程的均匀性，改善制程结果。 |
