大型薄膜之框体及该框体之取持方法;LARGE PELLICLE FRAME AND A METHOD FOR HOLDING SUCH A FRAME

摘要

本发明之大型薄膜组系包含：具有由复数个边所构成之多角形形状之框体、接着于该框体之上缘面上之薄膜、以及涂附于该框体之下缘面上之黏着材，且上述框体之最长边之长度为1m以上，该大型薄膜之上述框体在其所有边部上，分别具有对上述框体进行取持之取持搬运用的凸部或凹部，于上述框体之各边部上，分别同时取持至少1处以上之取持搬运用的凸部或凹部，藉此能够可靠地取持框体，而且，在欲将薄膜贴附于光罩等上时，可自收纳容器中简单地取出薄膜，而不会产生翘曲或弯曲。