空白光罩的制造方法及空白光罩;METHOD OF MANUFACTURING PHOTOMASK BLANK AND PHOTOMASK BLANK

摘要

提供提高构成空白光罩之光学膜之特性的面内均一性之技术。在腔室(50)内，把在主面形成光学膜(20)之石英基板(10)，载置到承受器(30)上。在灯罩(90)内，收纳有闪光灯(60)，闪光光通过(2)片石英板(70a、70b)，朝光学膜(20)照射。2片石英板(70a、70b)中，在石英板(70b)的表面，形成透过率调整区域(80)，照射到光学膜(20)之光量，系在面内具有分布。对光学膜(20)照射闪光光的话，该光学膜(20)的光学特性与所受到的照射能量相依而变化的缘故，例如，在成膜后的光学膜的特性在面内不会均一而具有分布的场合，把具有使其抵销般的照射能量分布的闪光照射到光学膜的话，可以提高光学膜的特性之面内均一性。