发明名称 CONDUCTIVE PATTERN FABRICATION METHOD
摘要 본 발명은 고온 또한 장시간의 가열 처리를 수반하는 일 없이 도전성이 양호한 도전 패턴을 얻을 수 있어 생산 효율을 현저하게 향상시키는 것이 가능한 도전 패턴의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 도전성 입자(A) 및 유기 화합물(B)을 포함하는 기판 상의 막 또는 패턴을 브로드 스펙트럼을 갖는 광으로 노광해서 도전막 또는 도전 패턴을 얻는 노광 공정을 구비하는 도전 패턴의 제조 방법을 제공한다.
申请公布号 KR20150066528(A) 申请公布日期 2015.06.16
申请号 KR20157008522 申请日期 2013.09.27
申请人 TORAY INDUSTRIES, INC. 发明人 TANABE MIHARU;IGUCHI YUICHIRO;KUSANO KAZUTAKA
分类号 G03F7/20;G06F3/041;H05K3/12 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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