堆叠处理装置及堆叠处理方法;PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING METHOD OF STACK

摘要

一种用于叠层体的加工装置。叠层体具有在其端部之间设有间隙的彼此贴合的二个基板。加工装置具有固定叠层体的部分的固定机构、固定叠层体的基板中之一者的外周边缘的多个吸附器具、以及插在叠层体的角落的楔形器具。多个吸附器具具有允许吸附器具在垂直方向及水平方向上移动的机构。加工装置还具有检测出在叠层体的端部之间的间隙的位置的感测器。楔形器具的尖端沿着形成在叠层体的端面的倒角移动。楔形器具插在叠层体的端部之间的间隙中。