冷阱

摘要

本发明提供一种冷阱，其课题为抑制排气流路的电导率的下降，并且提高冷阱的排气速度。本发明之冷阱(10)配设于真空容器(12)与涡轮分子泵(14)之间。冷阱(10)具备冷板(24)及在排气流路(18)中包围冷板(24)之冷板容器(26)。冷板(24)在冷板容器(26)的外部具备扩张板(34)。扩张板(34)配置于真空容器(12)内。