以催化脱氢偶合合成不含卤素之胺基矽烷;HALOGEN FREE SYNTHESES OF AMINOSILANES BY CATALYTIC DEHYDROGENATIVE COUPLING

摘要

描述经由藉由金属催化剂催化的对应未经取代之矽烷与胺(包括氨)或膦之间的脱氢偶合制备之Si-X及Ge-X化合物(X=N、P、As及Sb)及其制备方法。此新颖方法系基于Si-H与X-H部分之催化脱氢偶合，形成含有Si-X之化合物及氢气(X=N、P、As及Sb)。该方法可藉由诸如Ru(0)/碳、Pd(0)/MgO之过渡金属非均相催化剂以及充当均相催化剂之过渡金属有机金属错合物催化。藉由脱氢偶合产生之-Si-X产物本身不含卤素。该等化合物可适用于藉由化学气相沈积或原子层沈积含Si膜来沈积薄膜。