铱针尖、气体场致电离离子源、聚焦离子束装置、电子源、电子显微镜、电子束应用分析装置、离子电子复合束装置、扫描探针显微镜、及遮罩修正装置

摘要

能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的末端部的末端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不易附着，又能够长时间保持末端的1个原子。铱针尖在锐化的〈210〉方位的单晶的末端部具有角锥结构，该角锥结构的末端仅透过1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的末端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。