| 摘要 |
目的在于抑制以受光部受光的光量减少。;位移感测器(10)，系具有：将检测光和反射检测光加以分歧的偏光分光镜(23)；以及将前往可变焦距镜(27)的入射光和反射光加以分歧的偏光分光镜(25)，并且具备将检测光及反射检测光之偏光加以变更的法拉第旋转器(24)、以及1/4波长板(26)。偏光分光镜(23、25)是藉由法拉第旋转器(24)及1/4波长板(26)，使分歧之两道光的偏光角度设定为各自之偏光分光镜的P偏光和S偏光。因此，可以藉由偏光分光镜(23、25)将两道光加以分歧，并且抑制藉由偏光分光镜(23、25)分歧而使受光部受光的光量减少。 |
