发明名称 自由电子雷射;FREE ELECTRON LASER
摘要 一种自由电子雷射,其包含:一电子源、一线性加速器、一波荡器、电子射束光学件及一减速单元。该电子源可操作以产生一聚束式电子射束。该线性加速器经配置以将能量赋予至由该电子源产生之该聚束式电子射束中之电子。该波荡器可操作以产生一周期性磁场且经配置以便沿着围绕该波荡器之一中心轴线之一周期性路径来导引该聚束式电子射束,使得该聚束式电子射束与该波荡器中之辐射相互作用,从而刺激相干辐射之发射。该电子射束光学件经配置以在该聚束式电子射束离开该波荡器之后将该聚束式电子射束返回引导至该线性加速器中,以便自该聚束式电子射束中之电子提取能量。该减速单元经配置以在该聚束式电子射束已离开该波荡器之后自该聚束式电子射束中之电子提取能量。该减速单元包含一或多个谐振空腔,及一能量耗散机构。该聚束式电子射束经引导通过该一或多个谐振空腔以便在该一或多个谐振空腔中激发一或多个谐振驻波模式。
申请公布号 TW201524053 申请公布日期 2015.06.16
申请号 TW103138239 申请日期 2014.11.04
申请人 ASML荷兰公司 ASML NETHERLANDS B. V. 发明人 亚克曼司 乔汉那斯 安东尼司 杰瑞德思 AKKERMANS, JOHANNES ANTONIUS GERARDUS;阿门特 卢卡斯 约翰尼斯 彼得 AMENT, LUCAS JOHANNES PETER;白尼 凡丁 叶弗真叶米希 BANINE, VADIM YEVGENYEVICH;康能 提司 尤汉 COENEN, TEIS JOHAN;德 贾格 皮耶特 威廉 荷曼 DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN;德 弗瑞斯 高斯 查尔斯 DE VRIES, GOSSE CHARLES;佛利恩斯 欧勒夫 华德玛 佛勒迪米尔 FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR;葛里民克 李奥纳德斯 雅得安司 杰拉德斯 GRIMMINCK, LEONARDUS ADRIANUS GERARDUS;凯特拉妮克 安戴可 KATALENIC, ANDELKO;洛卜史塔 艾瑞克 罗勒夫 LOOPSTRA, ERIK ROELOF;雷町 傲特嘉 珍 LUITEN, OTGER JAN;倪祺佩洛 安得列 亚历山卓维克 NIKIPELOV, ANDREY ALEXANDROVICH
分类号 H01S3/0959(2006.01);H01S3/30(2006.01) 主分类号 H01S3/0959(2006.01)
代理机构 代理人 林嘉兴
主权项
地址 商 NL