半导体制造装置

摘要

本发明提供一种能够可靠性良好地进行电磁波屏蔽之半导体制造装置。;半导体制造装置(1)包括：上盖，其于将搭载有应进行电磁波屏蔽之未屏蔽之半导体封装体之托盘载置于搬送载具之状态下，较半导体封装体之上表面配置于更上方；及位移检测部，其检测半导体封装体接触到上盖之下表面而将上盖抬升至上方之异常。