检查装置;INSPECTION APPARATUS

摘要

一种能降低杂讯效应的检查装置，根据本发明的一检查装置包括设置有一物体的一工作台26、设置在该工作台26上方的一固定体28、支承有一探针触针38a的一探针组件、支撑在该固定体28上方的一支撑基座构件40、在该工作台26上方支撑该探针组件38的一悬架机构46、以及包括一IC晶片54a于其中的一讯号电路基板54，用于产生提供至该探针触针38a的一检查讯号，该讯号电路基板54藉由该悬架机构46而支撑在该悬架机构46的下方，且该讯号电路基板54中的该探针组件38与该支撑基座构件40相互电绝缘。