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发明名称
工件处理装置、工件输送系统
摘要
本发明课题在于知技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段系本发明的工件处理装置具备:第一旋转距离资讯储存部101,供储存复数个第一旋转距离资讯,该等第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯,而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯;取得部103,使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的复数个第一旋转距离资讯,取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯;及输出部104,用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置,可适当进行工件缺陷的检测。
申请公布号
TW201523760
申请公布日期
2015.06.16
申请号
TW103136146
申请日期
2014.10.20
申请人
大亨股份有限公司 DAIHEN CORPORATION
发明人
仓桥孝治 KURAHASHI, KOJI;宫本玲 MIYAMOTO, AKIRA;川上敦司 KAWAKAMI, ATSUSHI;崎元直树 SAKIMOTO, NAOKI
分类号
H01L21/66(2006.01);G01N21/88(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/677(2006.01)
主分类号
H01L21/66(2006.01)
代理机构
代理人
洪尧顺
主权项
地址
日本 JP
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