基板处理装置及基板处理方法;SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

摘要

将基板表面之洗净液确实地置换为挥发性溶媒，而有效地防止基板乾燥时之图案倒坏，并且提升此种基板之生产性。基板处理装置(10)，其溶媒供给部(58)系构成为附加性地具备有磁场形成手段，磁场形成手段(100)，系对于一并存在有洗净液和挥发性溶媒之基板(W)的表面施加磁场，以将基板(W)表面之洗净液与挥发性溶媒作搅拌混合，而促进对于洗净液之该挥发性溶媒的置换。