| 发明名称 |
基板处理设备及基板处理方法;APPARATUS AND METHOD FOR TREATING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
一种基板处理设备及基板处理方法。基板处理设备对其中完成背面研磨之晶圆系附着于在框架环上固定的安装用带之基板进行处理，该基板处理设备包括：加载埠，其供收纳有多个该等基板之载体进行置放；电浆处理单元，其供应电浆以处理该晶圆之顶部；以及基板搬送单元，其在该载体与该电浆处理单元间移送该基板。 |
| 申请公布号 |
TW201523722 |
申请公布日期 |
2015.06.16 |
| 申请号 |
TW103139608 |
申请日期 |
2014.11.14 |
| 申请人 |
ＰＳＫ有限公司 PSK INC. |
发明人 |
朴范埈 PARK, BUM JOON |
| 分类号 |
H01L21/304(2006.01);H01L21/677(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖正健陈家辉 |
| 主权项 |
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| 地址 |
南韩 KR |
