洗净方法及洗净装置

摘要

本发明系一种关于施加处理液以洗净被洗净物之洗净方法，其系具有：将含有微奈米气泡或奈米气泡等较小尺寸之气泡的第1处理液，施于前述被洗净物之第1步骤；与在该第1步骤之后，将含有较被包含在前述第1处理液之气泡大之尺寸的微米气泡等气泡的第2处理液，施于前述第1处理液附着的状态之前述被洗净物之第2步骤；在第1处理液洗净之后，由于以含有较包含在该第1处理液之气泡大之尺寸的气泡之第2处理液执行洗净，所以可藉由利用较小气泡之理想性质的第1处理液洗净之后，再利用较大气泡之理想性质的第2处理液执行洗净。