发明名称 模组化雷射设备;MODULAR LASER APPARATUS
摘要 本发明关于雷射设备,其包括复数雷射模组,各雷射模组均在工作平面中产生雷射线,复数雷射模组并列以致于由复数雷射模组产生的雷射线合并成单一雷射线,复数雷射模组中的各雷射模组包括:至少一雷射线产生机构,用于产生雷射线;以及雷射线整形机构,用于将雷射线整形,设备特征在于雷射线整形机构包括微透镜阵列,以致于由各雷射模组产生的最后雷射线在工作平面中具有功率密度轮廓,功率密度轮廓具有在最大功率密度的90%之宽度(L90)以及在最大功率密度的10%之宽度(L10),L90/L10比例是在1/15与1/5之间。; and - a means for shaping the laser line, said apparatus being characterized in that the means for shaping the laser line comprises an array of microlenses such that the final laser line generated by each laser module has, in the working plane, a power density profile with a width (L90) at 90% of the maximum power density and a width (L10) at 10% of the maximum power density, the ratio L90/L10being comprised between 1/15 and 1/5.
申请公布号 TW201523706 申请公布日期 2015.06.16
申请号 TW103135976 申请日期 2014.10.17
申请人 法国圣戈本玻璃公司 SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE 发明人 杜伯斯特 布莱斯 DUBOST, BRICE;米蒙 伊曼纽尔 MIMOUN, EMMANUEL;史威勒 吉恩菲利普 SCHWEITZER, JEAN-PHILIPPE
分类号 H01L21/268(2006.01);H01L21/324(2006.01);H01S5/00(2006.01);B23K26/073(2006.01) 主分类号 H01L21/268(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 法国 FR