可挠性光学感测器模组;FLEXIBLE OPTICAL SENSOR MODULE

摘要

一种可挠性光学感测器模组系被提出，可挠性光学感测器模组包括一支撑基板与一可挠性波导。支撑基板具有一第一凹槽与一第二凹槽，其中第一凹槽具有一第一光学微反射表面与一第二光学微反射表面位于其二侧。可挠性波导配置于支撑基板之第一凹槽之上。支撑基板可以包括一第一基板具有第一凹槽与一第二基板具有第二凹槽，第一基板配置于第二基板之上。一振动薄膜形成于第一基板与第二基板之间。光源与光检测器系配置于第一基板之上。