多工物件参数光学量测整合装置与方法;MULTIPLEXING ARTICLE PARAMETER INTEGRATED OPTICALLY MEASURING DEVICE AND METHOD THEREOF

摘要

本发明为一种多工物件参数光学量测整合装置及方法，其以Linnik干涉显微仪为基本架构，整合传统干涉仪、显微仪与椭圆偏光仪之功能，得以同时量测受测物件之表面形貌、全对焦彩色与黑白影像、大范围面积表面形貌、及膜厚尺寸等几何参数。藉此，相对于用装置，半导体等微相关元件得利用本发明装置之量测处理而达节省设备成本、设备系统简单化、节省设备所占空间、即时量测、快速监控、缩短制造时程、并减少移动待测物件之工且降低制造中物件损坏之可能性的优点与功效。