氟化甲烷之制造方法

摘要

本发明以提供可用作为乾蚀刻气体等的氟化甲烷的制造方法方面，适合以工业生产的方法为课题。;其解决手段为藉由使(A)二甲基硫酸与(B)作为氟化合物之氟化氢及氟酸盐所成群中选出的至少一种、或氟化物金属盐在液相反应，制造氟化甲烷(CH3F)之方法：其特征为前述氟化合物(B)含氟化氢或氟酸盐之场合，在无溶剂、或作为溶剂使用极性溶剂且前述氟化合物(B)为氟化物金属盐之场合，使用水作为溶剂进行反应。