发明名称 晶片的结合方法;A Bonding Method for Chips
摘要 一种晶片的结合方法,包括以下步骤:;首先,提供一第一基板,第一基板的其中一面为一第一贴合面。接着,在第一基板的第一贴合面形成一光硬化接着剂薄层。之后,以一第一促发波长灯具对光硬化接着剂薄层进行照射,以使光硬化接着剂薄层初步固化。然后,提供一第二基板,第二基板的其中一面为一第二贴合面,将第二贴合面贴合在第一基板的第一贴合面上。之后,以一第二促发波长灯具对光硬化接着剂薄层进行照射,以使光硬化接着剂薄层完全固化。其中,第二促发波长灯具的瓦数值会高于第一促发波长灯具的瓦数值。;A bonding method for chips is provided. The bonding method for chips comprises the steps of:;  
申请公布号 TW201523751 申请公布日期 2015.06.16
申请号 TW102144306 申请日期 2013.12.04
申请人 国立台湾科技大学 NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 陈品铨 CHEN, PIN CHUAN;刘育旻 LIU, YU MIN
分类号 H01L21/58(2006.01) 主分类号 H01L21/58(2006.01)
代理机构 代理人 陈思源
主权项
地址 台北市大安区基隆路4段43号 TW