发明名称 |
晶片的结合方法;A Bonding Method for Chips |
摘要 |
一种晶片的结合方法,包括以下步骤:;首先,提供一第一基板,第一基板的其中一面为一第一贴合面。接着,在第一基板的第一贴合面形成一光硬化接着剂薄层。之后,以一第一促发波长灯具对光硬化接着剂薄层进行照射,以使光硬化接着剂薄层初步固化。然后,提供一第二基板,第二基板的其中一面为一第二贴合面,将第二贴合面贴合在第一基板的第一贴合面上。之后,以一第二促发波长灯具对光硬化接着剂薄层进行照射,以使光硬化接着剂薄层完全固化。其中,第二促发波长灯具的瓦数值会高于第一促发波长灯具的瓦数值。;A bonding method for chips is provided. The bonding method for chips comprises the steps of:; |
申请公布号 |
TW201523751 |
申请公布日期 |
2015.06.16 |
申请号 |
TW102144306 |
申请日期 |
2013.12.04 |
申请人 |
国立台湾科技大学 NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
陈品铨 CHEN, PIN CHUAN;刘育旻 LIU, YU MIN |
分类号 |
H01L21/58(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/58(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈思源 |
主权项 |
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地址 |
台北市大安区基隆路4段43号 TW |