用于散射量测度量之照明组态;ILLUMINATION CONFIGURATIONS FOR SCATTEROMETRY MEASUREMENTS

摘要

本发明提供包括在一目标平面上具有垂直投影之照明光束的散射量测度量系统、照明组态及各自方法，该等垂直投影包括相对于一目标度量方向之一平行分量及一垂直分量两者。该等照明光束与由该度量方向与目标表面之一法线界定的平面成某一角传播且产生偏离成像光瞳平面之中心的绕射影像。该等偏心绕射影像经空间配置以避免重叠且对应于度量要求，诸如光点尺寸、所要绕射阶数等。可使用提供一简单方式来增大散射量测度量通量的照明光瞳遮罩实施该等照明光束。