成膜遮罩、成膜装置、成膜方法及触控面板基板;DEPOSITION MASK, DEPOSITION APPARATUS, THIN-FILM FORMING METHOD AND TOUCH PANEL SUBSTRATE

摘要

本发明系构成为具备：形成有与被成膜在基板上的薄膜图案形状尺寸相同的复数个第1开口图案的第1遮罩；以及以形成有内含该复数个第1开口图案中之至少一者之大小的第2开口图案，并相对于该第1遮罩为非拘束状态之方式来加以重叠设置在该第1遮罩上的第2遮罩。