基板处理装置及基板处理方法;SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

摘要

将基板表面之洗净液确实地置换为挥发性溶媒，而有效地防止基板乾燥时之图案倒坏。在基板处理装置(100)中，系具备有溶媒置换手段(有机溶媒供给部(15)以及溶媒供给部(34))，其系将洗净液置换为低浓度之挥发性溶媒，之后进而置换为高浓度之挥发性溶媒。