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发明名称
Liquid Resin Dispensing Test Method
摘要
<p>본 발명은 액상 수지 도포 검사 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 칩이 부착된 기판에 액상 수지를 도포하고 그 도포 상태를 검사하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 기판에 액상 수지가 정상적으로 도포되었는지 여부를 검사할 수 있는 액상 수지 도포 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 발명에 의한 액상 수지 도포 검사 방법은 기판 위에 액상 수지가 도포된 상태를 효과적으로 검사할 수 있는 효과가 있다.</p>
申请公布号
KR101528349(B1)
申请公布日期
2015.06.16
申请号
KR20130143216
申请日期
2013.11.22
申请人
发明人
分类号
G01B11/28;G06T7/00;H01L21/66
主分类号
G01B11/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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