藉由修改半导体制程的光罩而产生物理不可克隆功能的装置及方法;APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING PHYSICAL UNCLONABLE FUNCTION BY MODIFYING PHOTO MASK OF SEMICONDUCTOR PROCESS

摘要

揭露一种藉由对半导体制程制造不可预测的部份制程失误，而产生实体不可复制功能(physical unclonable function，PUF)的方法。在一设计制程中，藉由变形一设计的第一光罩图案所包括的至少一光罩窗的一尺寸和/或形状，而使一第二光罩图案被印刷出，其不需违反半导体设计规则。藉由用于光刻的一光罩所包括的该印刷的第二光罩图案，一实体不可复制功能可被制造。