图案产生方法、记录媒体、资讯处理设备、以及光罩制造方法;PATTERN GENERATION METHOD, RECORDING MEDIUM, INFORMATION PROCESSING APPARATUS, AND MASK FABRICATION METHOD

摘要

一种新颖的用于产生包括单元图案的图案的方法，所述单元图案包括在其中布置的辅助图案。本发明提供用于产生在透过布置从多种单元中选择的单元来产生光罩图案时所使用的单元的图案的产生方法。该产生方法包括透过获得有关包括孤立的矩形图案元素的单元的资料并且根据所述资料产生辅助矩形图案元素的辨析的辅助图案来产生包括该矩形图案元素和辅助图案的图案作为单元图案。