平板显示器制造用光罩、图案之转印方法及平板显示器之制造方法

摘要

本发明获得一种可确实且精致地转印微细图案之光罩、转印方法、及平板显示器之制造方法。;本发明之光罩之特征在于：其系于透明基板上形成有包含至少遮蔽曝光之光之一部分之遮光部与上述透明基板露出之透光部之转印用图案者，且上述遮光部具有沿着上述遮光部之外周形成为特定宽度之边缘区域与在上述遮光部形成于上述边缘区域以外之部分之区域，上述区域以相对于透射上述透光部之上述曝光之光中所含之代表波长之光具有大致180度之相移量之方式形成，上述边缘区域以相对于上述代表波长之光之相移量小于上述区域之方式形成，且于上述边缘区域形成有相对于上述代表波长之光具有50%以下之透射率之光学膜。