发明名称 电性检测装置
摘要 一种电性检测装置包含一机台、一承台、一支架、一检测臂、一转盘、复数安置座及复数探针组。该机台具有平行之二第一导轨;该承台设于该机台上;该支架设于该二第一导轨,且可相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;该检测臂设于该第二导轨且位于该承台上方,并可与该支架同步移动,且可相对该支架移动;该转盘设于该检测臂上且可相对该检测臂转动或移动;该等安置座设于该转盘上且与该转盘同步转动,并可相对该转盘转动或移动;该等探针组分别设于该安置座上,并可与该安置座同步移动。
申请公布号 TW201522990 申请公布日期 2015.06.16
申请号 TW102146119 申请日期 2013.12.13
申请人 旺矽科技股份有限公司 MPI CORPORATION 发明人 顾伟正 KU, WEI CHENG;吕绍玮 LU, SHAO WEI;罗雅鸿 LO, YA HUNG;蔡守仁 TSAI, SHOU JEN
分类号 G01R31/02(2006.01) 主分类号 G01R31/02(2006.01)
代理机构 代理人 廖钲达
主权项
地址 新竹县竹北市中和街155号1至3楼 TW